(VACUUM HEAT AND ATMOSPHERE TUBE FURNACE )

개요 본 장비는 고온전기로이며 진공과 가스환경에서 가동이 가능하다. 전기로 : 칸탈사의 칸달슈퍼 발열체 사용으로 최고1600도 사용이 가능하고 열 안정성이 뛰어난 세라믹 보드를 내화물로 사용하여 고온 열 안전성과 균일한 온도분포를 실현하였다. 안정된 온도조절기능을 위해 RKC  REX-P250 컨트롤러가 부착되었고 또한 과열방지 수단으로 냉각수 경보장치와 RKC  REX-C100 컨트롤러를 부착하여 운전 중 항상 과열 및 냉각수 이상 유무를 감시한다.

강력한 냉각 팬에 의한 냉각 시스템으로서 케이스의 과열 및 전열을 차단하였고 이로 인한 발열체 수명도 연장될 수  있다 또한 냉각팬의 수명과 불필요한 전력소모를 방지하기 위하여 냉각 팬 운전용 컨트롤러를 부착하였다.  

진공환경 : 로타리 펌프와 디피젼 펌프를 부착하여 10^-6 Torr 의 진공도를 실현하였고 이의 감시를 위해 ATM-10^-3 Torr 용 VARIAN 801 게이지와     10^-3 Torr - 10^-6 Torr 용 CT-2P 게이지를 부착하였다.

신뢰성 있는 진공을 위해 일본제 알루미나 튜브를 사용하였고 고 진공에서도 견딜 수 있는 마스크 구조를 사용하였다.

또한 운전의 편리함과 조작 실수로 인한 오 동작을 방지하기 위하여 자동제어가 가능한 공압용 자동밸브를 사용하여 자동제어 환경을 만들었고 이로 인해 제어조작이 단순해 졌다.

고도의 제어작업을 위한 수동조작 판넬도 준비되었고 이의 제어를 위한 키스위치가 부착되었다.

가스환경 : Ar, H₂, N₂ 가스 플로우 메타를 부착하여 어떠한 환경의 열처리도 가능하다.

단순히 밸브스위치인 FLOW 버튼만 조작함으로서 GAS IN, GAS OUT 밸브가 동작하므로 튜브내의 +압 또는 -압의 문제가 없다.

신뢰성 있는 유량조절을 위해 일본제품의 플로우 메타를 부착하였다.

  

	총 최대치전력    220V 3P 40A 전기로               220V 1P 30A 로타리 펌프        220V 3P 7A 디피전 펌프        220V 1P 4A 전원연결 220V 3P 70A 이상의 전선을 준비하여 [220V 3P IN]
	단자에 정확히 연결한다.
전체사진	로타리 펌프의 3단자를 [220V 3P OUT로타리 펌프전원] 단자에 정확히 연결한다. 이때 로타리 펌프의 회전방향을 유의하여 본다 만약 회전방향이 반대일 땐 3단자중 2단자를 교환하여 연결한다.
내부사진

 

	공압부분		마스크 전면부
	진공센서부		마스크후면부
			진공펌프